Rappel
Nous avons pu voir que le micro-usinage rend possible la fabrication de structures miniatures mobiles idéalement adaptées pour des applications dans le domaine optique. De faibles déplacements, par exemple d'un quart de longueur d'onde dans un interféromètre, peuvent produire une commutation on/off ou créer des effets de modulations plus importants que dans des dispositifs électro-optiques ou électroniques conventionnels. De même, nous avons vu que les réseaux de micro-miroirs peuvent servir de base pour des systèmes d'écran d'affichage ou bien pour des routeurs optiques.
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les rugosités de surface déterminent la réflectivité des miroirs
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les contraintes mécaniques sur les membranes créent des distorsions dans les images réfléchies
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les guides d'ondes intégrés dans les microsystèmes optiques doivent avoir des indices de réfraction et des pertes optiques reproductibles
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les actionneurs, qu'ils soient électrostatiques, piézoélectriques ou thermo-mécaniques, doivent avoir des tensions d'activation et une dissipation d'énergie faibles tout en assurant un fonctionnement reproductible sur un grand nombre de cycles de fonctionnement.
Les matériaux choisis et les techniques de fabrication ont donc une importance toute particulière.